Infocommunications and Radio Technologies Infocommunications and Radio Technologies ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ 2587-9936 52852 10.15826/icrt.2019.02.1.06 Радиотехника и связь (05.12.00) RADIO ENGINEERING AND TELECOMMUNICATIONS (05.12.00) Радиотехника и связь (05.12.00) Method of metrological characteristics determination of probe system for wafer-level S-parameters measurement of microwave nanoelectronic devices Методика определения метрологических характеристик зондовой установки для измерения параметров рассеяния изделий СВЧ наноэлектроники на подложке Савин Александр Александрович Savin Aleksandr A saasavin@mail.ru Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники ru Tomsk State University of Control Systems and Radioelectronics ru 25 03 2019 25 03 2019 2 1 60 70 20 03 2019 https://rusjbpc.ru/en/nauka/article/52852/view

Представлена методика определения метрологических характеристик зондовой системы измерения параметров рассеяния пассивных и активных устройств на полупроводниковой подложке. Основная идея состоит в оценивании эффективных параметров и определении точности полученных оценок. Реализация идеи базируется на специальной технологии фильтрации при обработке верификационных измерений и сигма-точечном преобразовании при исследовании качества верификационного набора, состоящего из одной линии передачи, которая может быть изготовлена на пластине с устройствами.

The method for determining the metrological characteristics of the probe system for the scattering parameter measurements of passive and active devices on a semiconductor substrate is presented. The main idea is to estimate the residual errors and determine the accuracy of the obtained estimates. The implementation of the idea is based on a special filtration technology by the processing of verification measurements and unscented transformation for the study of the quality of a verification set which consists of a single transmission line that can be made on a substrate with devices.

 векторный анализатор цепей зондовая станция измерения на подложке линия передачи верификация эффективные параметры сигматочечное преобразование vector network analyzer probe station on-wafer measurements transmission line verification residual errors unscented transformation

Малай И. М., Семенов В. А., Чирков И. П. Тестирование изделий высокочастотной микроэлектроники на пластине. В кн. : Тезисы докладов X Всероссийской НТК «Метрология в радиоэлектронике», 20-22 июня 2016 г., Менделеево Московской обл. Менделеево : ФГУП «ВНИИФТРИ». 2016. С. 103-106. Malay I. M., Semenov V. A., Chirkov I. P. Testirovanie izdeliy vysokochastotnoy mikroelektroniki na plastine. V kn. : Tezisy dokladov X Vserossiyskoy NTK «Metrologiya v radioelektronike», 20-22 iyunya 2016 g., Mendeleevo Moskovskoy obl. Mendeleevo : FGUP «VNIIFTRI». 2016. S. 103-106. Savin A. A., Guba V. G., Rumiantsev A., Maxon B. D., Schubert D., Arz U. Adaptive Estimation of Complex Calibration Residual Errors of Wafer-Level S-Parameters Measure-ment System. В кн. : 84th ARFTG Microwave Measurement Conference, Boulder, USA. 2014. С. 1-4. Savin A. A., Guba V. G., Rumiantsev A., Maxon B. D., Schubert D., Arz U. Adaptive Estimation of Complex Calibration Residual Errors of Wafer-Level S-Parameters Measure-ment System. V kn. : 84th ARFTG Microwave Measurement Conference, Boulder, USA. 2014. S. 1-4. Savin A. A. A Novel Factor Verification Technique for One-Port Vector Network Analyzer. В кн. : Proceedings of the 43rd European Microwave Conference, Nuremberg, Germany. 2013. С. 60-63. Savin A. A. A Novel Factor Verification Technique for One-Port Vector Network Analyzer. V kn. : Proceedings of the 43rd European Microwave Conference, Nuremberg, Germany. 2013. S. 60-63. Savin A. A., Guba V.G., Bykova O. N. Uncertainty Analysis in Coplanar Waveguide with Unscented Transformation. В кн. : ARFTG 86th Microwave Measurement Conference, Atlanta, Georgia, USA, December 1-4, 2015. С. 1-4. Savin A. A., Guba V.G., Bykova O. N. Uncertainty Analysis in Coplanar Waveguide with Unscented Transformation. V kn. : ARFTG 86th Microwave Measurement Conference, Atlanta, Georgia, USA, December 1-4, 2015. S. 1-4. Савин А. А. Губа В. Г., Быкова О. Н. Измерение параметров полупроводниковых приборов на пластине // Измерительная техника. 2016. № 7. С. 56-61. Savin A. A. Guba V. G., Bykova O. N. Izmerenie parametrov poluprovodnikovyh priborov na plastine // Izmeritel'naya tehnika. 2016. № 7. S. 56-61. Savin A. A., Guba V. G., Bykova O. N. Measurement of the Parameters of On-wafer Semiconductor Devices // Measurement Techniques. 2016. Т. 59, № 7. С. 765-772. Savin A. A., Guba V. G., Bykova O. N. Measurement of the Parameters of On-wafer Semiconductor Devices // Measurement Techniques. 2016. T. 59, № 7. S. 765-772. Savin A. A. Second-Order Error Correction of a Pre-calibrated Vector Network Analyzer for Wafer-Level Measurements. В кн. : Proceedings of the 47th European Microwave Conference. 10-12 Oct. 2017, Nuremberg, Germany. 2017, С. 743-746. Savin A. A. Second-Order Error Correction of a Pre-calibrated Vector Network Analyzer for Wafer-Level Measurements. V kn. : Proceedings of the 47th European Microwave Conference. 10-12 Oct. 2017, Nuremberg, Germany. 2017, S. 743-746. Savin A. A., Guba V. G., Ladur A. A., Bykova O. N., Shutov E. A., Sheyerman F.I., Walker B. Material Parameters Extraction of Printed Circuits and Semiconductor Substrates Using Wideband Reflection Measurements. В кн. : 91st ARFTG Microwave Measurement Conference, Philadelphia, USA. 2018, С. 1-4. Savin A. A., Guba V. G., Ladur A. A., Bykova O. N., Shutov E. A., Sheyerman F.I., Walker B. Material Parameters Extraction of Printed Circuits and Semiconductor Substrates Using Wideband Reflection Measurements. V kn. : 91st ARFTG Microwave Measurement Conference, Philadelphia, USA. 2018, S. 1-4. Heinrich W. Quasi-TEM description of MMIC coplanar lines including conductor-loss effects // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1993. Т. 41, № 1. С. 45-52. Heinrich W. Quasi-TEM description of MMIC coplanar lines including conductor-loss effects // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1993. T. 41, № 1. S. 45-52.