TY  JOUR
TI  Методика определения метрологических характеристик зондовой установки для измерения параметров рассеяния изделий СВЧ наноэлектроники на подложке
KW  векторный анализатор цепей
KW  зондовая станция
KW  измерения на подложке
KW  линия передачи
KW  верификация
KW  эффективные параметры
KW  сигматочечное преобразование
JO  ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
AU  Савин, А..
PY  2019
IS  2
PB  ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»