00956naa#a2200181#i#450# RU\\bibl\52852 20241112223946.2 2587-9936 20190325b2019####ek#y0rusy0150####ca RUS RU Методика определения метрологических характеристик зондовой установки для измерения параметров рассеяния изделий СВЧ наноэлектроники на подложке Журнальная статья Севастополь ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет» 2019 10 с. Журнальная статья local Юстировка, градуировка и поверка. 621.317.089.6 RUS Савин Александр Александрович rusjbpc.ru