LDR 00974naa#a2200193#i#450# 001 RU\FGAOU VO «SEVASTOPOL'SKIY GOSUDARSTVENNYY UNIVERSITET»\bibl\6a9c14dd32807fdbab862fb3 005 20261022185721.4 100 ## _a20220928b2022####ek#y0rusy0150####ca 102 ## _aRU 200 1# _aИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4 _eЖурнальная статья 210 1# _aСевастополь _cФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет» _d2022 215 ## _a6 с. 608 ## _aЖурнальная статья _2local 675 ## _aФотоэлектроника. 621.383 _z 700 #1 _aКулинич _gИван Владимирович 700 #1 _aСомогонянц _gАлина Алексеевна 700 #1 _aШестериков _gЕвгений Викторович 700 #1 _aМоховиков _gДенис Максимович 856 4# _arusjbpc.ru _u