УДК 621.383

ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК SI3N4 ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4

Опубликовано в ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ · Том 5, Номер 3 · Страницы 318–324 · Рубрика: Электроника, фотоника, приборостроение и связь (2.2)
DOI: https://doi.org/10.29039/2587-9936.2022.05.3.23
Получено: 20.09.2022 Одобрено: 20.09.2022 Опубликовано: 28.09.2022
В работе представлены исследования, направленные на разработку технологии формирования гребенчатого интегрально-оптического волновода на основе пленки Si3N4. Приведены результаты исследования влияния режимов плазменного осаждения на структуру пленок SiO2 и Si3N4 и режимов плазменного травления волновода на профиль гребенки и шероховатость поверхности.
фотонные интегральные схемы, фазовая решетка, нитрид кремния на изоляторе
Финансирование
Отработка технологических режимов травления оптических волноводов выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 21-79-10077. Расчеты геометрических размеров оптических волноводов проводились в рамках ГЗ НИОКТР № АААА-А19-119110690036-9
Текст Список литературы
Текст (PDF)
Читать Скачать

1. Antelius M., Gylfason K. B., Sohlstrom H. An apodized SOI waveguide-to-fiber surface grating coupler for single lithography silicon photonics // Opt. Express. 2011. Vol. 19. P. 3592-3598.

2. Никоноров Н. В., Шандаров С. М. Волноводная фотоника : курс лекций. СПб : СПбГУ ИТМО, 2008. 143 с.

3. Chrostowski L., Hochberg M. Silicon photonics design : from devices to systems. Cambridge : Cambridge University Press, 2015.

4. Гребенчатый Y-делитель на основе тонкопленочного ниобата лития / И. В. Кулинич и др. // Наноиндустрия. 2020. Т. 13, № S5-2 (102). С. 370-374.

5. Обзор геометрических параметров решеточных элементов на основе материалов Si/SO2 и Si3N4/SiO2 / О. В. Тертишная и др. В сб. : Электронные средства и системы управления. Материалы докладов Международной научно-практической конференции. 2021. № 1-1. С. 37-41.

Войти или Создать
* Забыли пароль?