Представлена методика определения метрологических характеристик зондовой системы измерения параметров рассеяния пассивных и активных устройств на полупроводниковой подложке. Основная идея состоит в оценивании эффективных параметров и определении точности полученных оценок. Реализация идеи базируется на специальной технологии фильтрации при обработке верификационных измерений и сигма-точечном преобразовании при исследовании качества верификационного набора, состоящего из одной линии передачи, которая может быть изготовлена на пластине с устройствами.
векторный анализатор цепей, зондовая станция, измерения на подложке, линия передачи, верификация, эффективные параметры, сигматочечное преобразование
1. Малай И. М., Семенов В. А., Чирков И. П. Тестирование изделий высокочастотной микроэлектроники на пластине. В кн. : Тезисы докладов X Всероссийской НТК «Метрология в радиоэлектронике», 20-22 июня 2016 г., Менделеево Московской обл. Менделеево : ФГУП «ВНИИФТРИ». 2016. С. 103-106.
2. Savin A. A., Guba V. G., Rumiantsev A., Maxon B. D., Schubert D., Arz U. Adaptive Estimation of Complex Calibration Residual Errors of Wafer-Level S-Parameters Measure-ment System. В кн. : 84th ARFTG Microwave Measurement Conference, Boulder, USA. 2014. С. 1-4.
3. Savin A. A. A Novel Factor Verification Technique for One-Port Vector Network Analyzer. В кн. : Proceedings of the 43rd European Microwave Conference, Nuremberg, Germany. 2013. С. 60-63.
4. Savin A. A., Guba V.G., Bykova O. N. Uncertainty Analysis in Coplanar Waveguide with Unscented Transformation. В кн. : ARFTG 86th Microwave Measurement Conference, Atlanta, Georgia, USA, December 1-4, 2015. С. 1-4.
5. Савин А. А. Губа В. Г., Быкова О. Н. Измерение параметров полупроводниковых приборов на пластине // Измерительная техника. 2016. № 7. С. 56-61.
6. Savin A. A., Guba V. G., Bykova O. N. Measurement of the Parameters of On-wafer Semiconductor Devices // Measurement Techniques. 2016. Т. 59, № 7. С. 765-772.
7. Savin A. A. Second-Order Error Correction of a Pre-calibrated Vector Network Analyzer for Wafer-Level Measurements. В кн. : Proceedings of the 47th European Microwave Conference. 10-12 Oct. 2017, Nuremberg, Germany. 2017, С. 743-746.
8. Savin A. A., Guba V. G., Ladur A. A., Bykova O. N., Shutov E. A., Sheyerman F.I., Walker B. Material Parameters Extraction of Printed Circuits and Semiconductor Substrates Using Wideband Reflection Measurements. В кн. : 91st ARFTG Microwave Measurement Conference, Philadelphia, USA. 2018, С. 1-4.
9. Heinrich W. Quasi-TEM description of MMIC coplanar lines including conductor-loss effects // IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 1993. Т. 41, № 1. С. 45-52.
